Esses aquecedores de cartucho são projetados especificamente para uso em equipamentos de processamento de wafer, onde devem operar continuamente em temperaturas de até 600 graus em um ambiente de sala limpa. O cliente japonês, um importante player na indústria de equipamentos de fabricação de semicondutores, precisava de aquecedores com estabilidade térmica excepcional e características de emissão de gases extremamente baixas para manter as condições ultra-limpas necessárias para a fabricação de chips. Nossa equipe técnica desenvolveu um projeto personalizado com um material de revestimento de aço inoxidável 310S, escolhido por sua resistência superior à oxidação em altas-temperaturas e um grau especializado de isolamento de óxido de magnésio com baixa{6}}liberação de gases.
A produção desses aquecedores-de alta temperatura envolve vários processos especializados. O fio de resistência, feito de liga de ferro-ferro{3}}cromo{4}}alumínio de alta pureza, é enrolado com controle de passo preciso para garantir geração de calor uniforme ao longo de todo o comprimento aquecido. O conjunto enrolado é inserido nos tubos de aço inoxidável 310S, que passam por um processo especial de polimento interno para remover quaisquer contaminantes superficiais que possam contribuir para a liberação de gases. O processo de enchimento de MgO ocorre em um ambiente de umidade controlada para evitar a absorção de umidade, o que pode levar à liberação de gases durante a operação-em altas temperaturas. Após o enchimento, os tubos são estampados para atingir a densidade de compactação necessária e, em seguida, submetidos a um processo de recozimento de alta-temperatura em um forno a vácuo para remover qualquer umidade residual e estabilizar a estrutura interna.
